氬氣微量氧檢測全解析：國家標準、檢測方法與儀器選擇

2025.09.11　瀏覽量：297 次

氬氣微量氧檢測全解析：國家標準、檢測方法與儀器選擇！氬氣作為重要的工業氣體，廣泛應用于焊接、半導體、光伏及金屬熱處理等領域。其中，氬氣中的氧含量是衡量其純度的關鍵指標之一。根據中國國家標準GB/T 4842-2017《氬》，對于??純氬??，其??氬氣純度需≥99.99%（體積分數），氧含量不得超過10ppm（體積分數）??。而對于??高純氬??，按照GB/T 10624-1995的規定，不同等級的產品氧含量要求更嚴格。氬氣中微量氧的限值依據國家標準執行，高純氬氧含量不得高于1.5ppm，檢測普遍采用GB/T 6285-2016規定的電化學法，使用ECD傳感器的便攜式或在線式分析儀可實現ppm級精準測量。

氬氣中允許的氧含量是多少？不同等級有何差異？
氬氣作為工業和科研領域廣泛使用的惰性氣體，其純度直接影響焊接質量、半導體制造、金屬冶煉等工藝的安全與效率。國家強制標準《GB/T 4842-2017 氬》對工業用氬氣設定了明確分級：
★純氬：氬純度 ≥ 99.99%，氧含量 ≤ 10 ppm（即0.001%）
★高純氬：氬純度 ≥ 99.999%，氧含量 ≤ 1.5 ppm
而更早發布的《GB/T 10624-1995 高純氬》雖已被部分替代，但仍在特定行業沿用，其對高純氬進一步細分：

等級	氬純度	氧含量上限
合格品	≥99.999%	≤2 ppm
一等品	≥99.9993%	≤1 ppm
優等品	≥99.9996%	≤1 ppm

可見，在高端應用如集成電路光刻、真空鍍膜等領域，要求氧雜質控制在 1 ppm以下才能避免氧化反應導致的產品缺陷。

微量氧檢測為何必須遵循國家標準方法？
為確保檢測結果具備法律效力和行業公信力，所有涉及氣體質量仲裁、出廠檢驗的場景均需依據國家標準執行。《GB/T 6285-2016 氣體中微量氧的測定電化學法》是目前唯一被國標采納的微量氧檢測通則。
該標準明確規定：適用于測定氧濃度在 0.1 ppm 至 1000 ppm 范圍內的各類惰性氣體，包括氬氣、氮氣、氦氣等。其核心原理基于電化學檢測器（ECD），通過氧分子在電解質中的還原反應產生電流信號，電流強度與氧濃度呈線性關系。
值得注意的是，該標準排除了順磁法、激光吸收法等物理方法，強調電化學法在低濃度區（<10 ppm）具有更高靈敏度和更低本底干擾，尤其適合高純氣體質檢。

哪些檢測儀器能滿足國標要求并實現精準測量？
符合GB/T 6285-2016要求的檢測設備必須具備高穩定性、低漂移和抗交叉干擾能力。以贏潤集團研發的兩款典型儀器為例：
ERUN-QB9100便攜式氬氣純度分析儀
采用進口長壽命ECD傳感器，檢測范圍0～100 ppm，分辨率可達0.1 ppm，適用于現場抽檢、氣瓶驗收等移動場景。

ERUN-QZ9100在線式氬氣純度分析系統
支持固定安裝，24小時連續監測管道中氬氣氧含量，響應時間T90 < 30秒，支持4-20mA/RS485輸出，集成至PLC或DCS系統。

兩類設備均通過中國計量科學研究院校準認證，實測數據顯示，在滿量程范圍內誤差≤±1%FS，長期運行零點漂移＜0.5 ppm/月，完全滿足ISO 17025實驗室認可要求。

氬氣微量氧檢測全解析：國家標準、檢測方法與儀器選擇！通過采用符合國家標準的檢測儀器，可以有效地監測和管理氬氣中的微量氧含量，保障生產過程的安全性和產品質量。贏潤集團的ERUN-QB9100和ERUN-QZ9100儀器，以其高精度、高穩定性和多功能性，為氬氣中微量氧的檢測提供了可靠的解決方案。

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